国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为 " 一种喷淋装置及沉积镀膜设备 " 的专利，公开号 CN121915386A，申请日期为 2026 年 1 月。
专利摘要显示，本发明公开一种喷淋装置及沉积镀膜设备，其中，该喷淋装置包括喷淋部件和抽气部件，所述喷淋部件包括喷淋盘，所述喷淋盘设置有喷淋孔，所述抽气部件安装于所述喷淋盘的中部区域，所述抽气部件被配置为能够用于抽气。上述喷淋装置可改善反应气体中部聚集的情况，有利于提升膜厚的均匀性，从而能够提升基片的镀膜质量。
天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于 2015 年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本 46115.7283 万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了 2 家企业，参与招投标项目 57 次，财产线索方面有商标信息 89 条，专利信息 638 条，此外企业还拥有行政许可 69 个。
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