国家知识产权局信息显示，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请一项名为 " 反应式等离子体镀膜设备 " 的专利，公开号 CN121826608A，申请日期为 2026 年 2 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种反应式等离子体镀膜设备，包括：具有真空腔的镀膜室；靶座，设置于真空腔内，靶座用于承载靶材；等离子体发生器，设置于镀膜室的侧部，等离子体发生器用于向靶材发出电子束，以使靶材升华并解离成靶材离子；传送系统，用于运载衬底，传送系统与靶座相对设置；气体解离系统，连通于真空腔，气体解离系统用于向真空腔输入反应气体离子，靶材离子与反应气体离子在衬底的表面沉积并结合形成薄膜。这样通过气体解离系统提前将反应气体解离成高活性的反应气体离子，然后将反应气体离子输送至真空腔内，提高真空腔内的反应气体离子的含量或浓度，使靶材离子充分地与反应气体离子结合形成薄膜。
天眼查资料显示，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，成立于 2007 年，位于深圳市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本 34829.2006 万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司共对外投资了 16 家企业，参与招投标项目 95 次，财产线索方面有商标信息 15 条，专利信息 583 条，此外企业还拥有行政许可 77 个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
