随着 AI 带来的全球算力需求爆发，我国半导体设备行业进入发展黄金期，刻蚀机作为半导体制造中的核心设备之一，其技术水平直接决定了芯片的精度、性能和功耗。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧介绍：" 我们首创了甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，后来国际三大设备公司都按这个方向做，现在 100% 的 CCP 刻蚀机都在用这个方法。"
被誉为 " 中国刻蚀机之父 " 的中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧，做客央视财经《对话》栏目，以《" 刻 " 出来的长期主义》为题，畅谈归国创业、打破国际垄断、拓展泛半导体领域的奋斗历程，分享对产业竞争与发展蓝图的深度思考。
60 岁归国，尹志尧放弃美国百万年薪与顶尖公司的高管职位，带着数百项专利的技术积累毅然回国。他的创业之路从一张白纸起步：" 回国是非常敏感的一件事情，我们让所有回国的人签字画押，不许带任何文件，计算机也是新的，完全从零开始。" 但这份 " 从一张白纸开始 " 的底气，来自他深耕行业数十年的技术沉淀：" 在美国做了 20 年，我发明的东西都是自己想出来的，过去能想出来，现在就能想出更好的，我们绝不重复国外的技术，一定要有创新。" 技术创新、产品差异化、知识产权保护，成为中微创业初期坚守的三大核心原则。
从零起步的自主创新，中微用三年时间打破了国外刻蚀机领域的长期垄断。尹志尧介绍：" 我们首创了甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，后来国际三大设备公司都按这个方向做，现在 100% 的 CCP 刻蚀机都在用这个方法。" 此外，中微首创的双台机设计，实现了单台设备同时刻蚀两片硅片，材料节省 30% 以上，且成本更低、性能更稳定。2007 年，中微就推出了首台双反应台国产刻蚀设备，而这份突破的背后，离不开国产半导体产业的 " 双向奔赴 "。
尹志尧回忆创业初期的支持：" 还没决定回来的时候，我就问张汝京博士，如果我回国做设备，你支持吗？" 中芯国际创始人、兴华芯创始人张汝京表示：" 我一定支持。" 面对国产设备的试错风险，张汝京带头 " 吃螃蟹 "：" 试新的设备一定会有风险，这个时间成本我们来负责。" 正是这份包容与信任，让中微设备快速完成验证迭代，尹志尧透露：" 到现在为止，中芯国际的设备至少 800 台来自中微。" 尹志尧在节目中呼吁更多下游客户支持国产设备：" 希望国内客户能给设备公司更多机会。" 张汝京也表示：" 如果没有人使用，设备永远不会进步。"
从刻蚀设备到泛半导体领域，中微的长期主义持续拓展新边界。2023 年 12 月，中微决定进军大平板显示设备领域——这一领域 17 种核心工艺设备全部依赖进口，而全球 70% 的 OLED 生产线都建在中国，自主可控迫在眉睫。尹志尧坦言：" 按行业经验，开发一台 150 吨重、两层半楼高的超大平板设备，至少需要 3 到 5 年，甚至可能 7 年。但中微团队用 12 个月就把设备做好并实现运转，18 个月便运抵生产线，两年内实现核准投产。我们现在有能力做最先进的设备。"
从技术回流到身份回归，82 岁的尹志尧用了 22 年时间，将一家初创公司打造成市值超 2000 亿元的行业标杆。面对行业沉浮，他始终坚信，半导体设备是产业的 " 底座 "，需要长期投入与开放竞争。
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来源：央视财经（ID：cctvyscj）
监制：柯成韵
主编：李天路
编辑：张爽
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