作者 | 刘煜
编辑 | 陈骏达
芯东西 8 月 14 日报道，今日，成都超精密光学解决方案提供商四川格林威治光电科技有限公司（以下简称 " 格林威治光电 "）发文宣布，其已于近日完成数千万元 A 轮融资，距其天使轮融资完成约有半年的时间。该公司此轮融资由东证资本、金啸铜业、盈远双银基金联合投资。
格林威治光电成立于 2021 年，其董事长兼经理是王鼎鑫。该公司主要从事超高精度光学元件加工与智能抛光设备研发，拥有材料去除模型与多物理场耦合仿真能力，可提高业内超精密光学加工精度和效率。
面向半导体领域，格林威治光电具备制造半导体光学元件的能力。其可加工熔石英、微晶、碳化硅、氟化钙等材料，支持 30 – 1500mm 口径半导体光学元件制造；元件面形精度 RMS 可达到优于 1nm、表面光洁度优于 1 级，能实现从原材料加工到光学镀膜的一体化交付。
对于高精度要求的复杂曲面如非球面、离轴、自由曲面，其可实现纳米级精度的控制与加工。配合智能算法，能有效避免传统抛光方式中的人为误差与效率瓶颈，提升加工精度与一致性并缩短了研发周期。
格林威治光电的产品主要分为加工设备、光学镜片及耗材，包括IRB600 机器人抛光系统、强激光类光学元件、航空航天类光学元件、半导体类光学元件、抛光头等；该公司的核心抛光设备为自主研发，拥有三坐标、干涉仪、轮廓仪等国际先进检测设备。其部分产品如下图所示：
近年来，受益于半导体光学、激光通信、激光反无、先进光电探测等新质新域产业领域对超精密光学元件需求的高速爆发，格林威治光电已拥有包括国内半导体设备公司、商业航天公司、光电公司及大院大所在内的客户群体。
结语：国内超精密元件
工程化量产能力尚存差距
超精密光学加工长期由德、日、美等国少数企业主导，国内产业链在高端产品持续可制造性、跨批次工艺一致性方面仍存在一定差距。在实验室环境下，国内厂商的相关产品可达到国际先进精度指标，但在稳定量产方面仍然存在一定瓶颈。
半导体产业链中，光刻机作为半导体产业的核心设备，其曝光光学系统、照明系统及检测系统均依赖于超精密光学元件的精度与性能。长远来看，实现超精密光学技术自主可控，或将成为半导体设备国产化向先进制程迈进的重要前置基础。
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