国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为 " 开盖机构及半导体工艺设备 " 的专利，公开号 CN121772640A，申请日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显示，本发明提供一种开盖机构及半导体工艺设备，开盖机构包括：连接组件，用于与上电极组件连接；抬升组件，与工艺腔室连接，抬升组件具有沿竖直方向设置的空心轴和可移动地设置在空心轴内部的驱动轴；连接组件活动连接在空心轴上，连接组件绕空心轴可转动并且在竖直方向上相对空心轴可升降，驱动轴用于驱动连接组件上升，以使上电极组件与工艺腔室脱离，连接组件通过转动使脱离工艺腔室的上电极组件与工艺腔室错开。本发明的本发明开盖机构通过设置空心轴，并将驱动轴设置在空心轴的内部，空心轴作为转动轴，从而实现了上电极组件的上升与转动，缩小了整个开盖机构的体积，提高了开盖机构的集成度，实现了开盖机构的小型化设计。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于 2001 年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本 114153.708311 万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了 7 家企业，参与招投标项目 1395 次，财产线索方面有商标信息 72 条，专利信息 5000 条，此外企业还拥有行政许可 340 个。
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作者：情报员
