每经讯，中科仪 10 月 20 日发布公告称，伴随国内集成电路产业快速发展，半导体装备核心零部件国产化需求持续攀升，集成电路干式真空泵市场空间稳步扩容。为顺应行业市场需求变化，匹配公司中长期经营发展战略，公司拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目。公司计划在已有募投项目 " 干式真空泵产业化建设项目 " 和 " 高端半导体设备扩产项目 " 基础上，实施集成电路干式真空泵扩产项目，旨在提升干式真空泵核心零部件自主制造能力，降低外协依赖，优化产品成本结构，从而提升整体盈利水平。项目资金来源为自筹资金，项目拟投资约 4.23 亿元，其中中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司及上海分公司拟投资约 1.91 亿元，实施主体为：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司；中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资约 2.32 亿元，实施主体为：中科仪 ( 南通 ) 半导体设备有限责任公司。
（记者 陈鹏程）
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