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沙钢集团研制出半导体用超高纯不锈钢 316LVV

转自:新华财经

超高纯材料是芯片制造所需的关键基础材料之一。历经 5 年联合攻关、上千次试验,沙钢集团抚顺特钢公司与中国科学院金属研究所成功突破国外技术壁垒,研制出半导体领域用超高纯不锈钢 316LVV,并已实现定制化生产,先后为国内 10 多家半导体设备企业供货。316LVV 超高纯不锈钢的国产化突破,有助于降低对进口产品的依赖。

316LVV 是在经典 316L 奥氏体不锈钢基础上,采用双真空熔炼工艺制备的超高纯材料。与普通 316L 多采用 " 电弧炉 +AOD" 精炼的生产路线不同,316LVV 通过 " 真空感应熔炼(VIM)+ 真空自耗重熔(VAR)" 双联真空工艺,赋予材料更高纯净度、卓越耐腐蚀性、优异力学性能。

抚顺特钢销售公司开发科相关负责人介绍:" 较国外进口同类产品,我们的 316LVV 产品纯净度及耐腐蚀性都提升了 10% 以上,交货时间比进口料缩短 3 个月以上,所以下游客户使用后非常满意,订单量不断增长。"

长期以来,半导体级 316LVV 的核心技术与供给被国外企业垄断,国内半导体装备产业链在该领域长期依赖进口。过去十余年,国内半导体设备商在整机设计、电源与控制系统上快速追赶,但核心结构材料如 316LVV 长期依赖进口——采购周期长、价格高,且在贸易波动下面临断供风险。

为改变这一局面,沙钢集团抚顺特钢成立专项科研团队,并在辽宁省工信厅推动下与中国科学院金属研究所达成合作。在双方共同努力下,成功研制出达到国外同类产品性能的 316LVV 超高纯不锈钢,双真空工艺达到 6 吨级,具备批量生产能力。

试制成功后,科研团队迅速将产品送往半导体设备生产企业进行试用验证,并根据试用结果不断改进生产工艺。经过一年多的持续改进,目前沙钢集团抚顺特钢已能够根据客户需求,定制生产适用不同工况的棒材、方材、扁材、异型材等类型的 316LVV 超高纯不锈钢,且产品工艺一致性、质量稳定性达到国际先进水平,产能规模国内领先。

抚顺特钢 316LVV 的国产化突破,是沙钢集团践行 " 钢铁报国 " 的生动实践。新征程上,沙钢集团将坚定创新、高效、品质、智慧、绿色、责任 " 六维 " 发展战略,推动 " 特钢更特 ",进一步加大科技创新力度,积极推进关键材料国产化及先进新材料研发生产,助力 " 中国制造 " 筑牢材料之基。(钱贺进 张龙飞)

编辑:王静

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