睿思网讯：7 月 22 日，国内原子层沉积（ALD）装备领军企业原速科技、化合物半导体 MOCVD 装备领军企业蓝河科技相继签约落户佛山南海。两大半导体装备领域 " 隐形冠军 " 将分别填补佛山在高端 ALD 装备和化合物半导体核心装备领域的空白，可带动精密加工、真空系统、特种气体等配套企业集聚，推动产业集群化发展，为佛山半导体产业链强链补链再添硬核支撑。
蓝河科技是国内目前唯一可提供全材料体系 MOCVD 装备的企业，致力于化合物半导体装备创新与国产化，已成功开发出五款 MOCVD 特色产品，覆盖第二代至第四代半导体材料，在氧化镓、砷化镓太阳能电池、特种外延领域国内领先。此次蓝河科技正式落子南海桂城，计划投资 2 亿元，建设 MOCVD 装备华南总部。项目方表示，未来将以南海为起点，高标准推进项目建设，落地最新一代技术设备的研发与制造，深度协同政企研学用，助推佛山半导体产业向高端跃升。
原速科技是国内原子层沉积（ALD）设备领军企业和专精特新 " 小巨人 " 企业，由哈佛大学、加拿大麦吉尔大学及荷兰代尔夫特理工大学等海外名校背景创始团队创立。本次落户南海丹灶的 " 新型显示 ALD 研发与装备制造基地 " 项目，总投资 5 亿元，重点攻关新型显示核心装备。其 ALD 技术可实现 " 原子级 " 精密镀膜，是国内少数通过维信诺等头部企业产线验证的企业。
