国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为 " 防污染角阀、角阀改造方法及沉积设备 " 的专利，公开号 CN121737683A，申请日期为 2025 年 12 月。
专利摘要显示，本发明属于半导体制造技术领域，公开了一种防污染角阀、角阀改造方法及沉积设备。该防污染角阀包括阀体和阀芯组件。阀体具有第一连接口、第二连接口以及阀腔，第一工质能在第一连接口、第二连接口和阀腔之间流动，第二连接口用于连接工艺腔体，且第二连接口和工艺腔体之间形成有连接通道，防污染角阀耦合有吹扫通道，吹扫通道在连接通道内侧形成有第一开口，第二工质能够通过吹扫通道和第一开口进入连接通道内侧。通过吹扫通道输入第二工质，能够破坏连接通道内的稳定扰流状态，使得在连接通道内形成朝向工艺腔体流动的气流，进而将残留气体或者副产物朝向真空泵与工艺腔体的连接处移动，达到排出残留气体和副产物，避免晶圆等产品受污染的效果。
天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于 2015 年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本 46115.7283 万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了 2 家企业，参与招投标项目 57 次，财产线索方面有商标信息 88 条，专利信息 611 条，此外企业还拥有行政许可 69 个。
