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太平洋电脑网 11小时前

量子芯片研发的“中国刻刀” 全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”

【太平洋科技快讯】近日,位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯:全国首台国产商业电子束光刻机 " 羲之 " 已进入应用测试阶段,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发领域从此有了 " 中国刻刀 "。

据悉,这台新一代 100kV 电子束光刻机依托浙江省重点实验室平台研发,目前已正式投入市场。据研发团队介绍," 羲之 " 电子束光刻机专攻量子芯片和新型半导体研发的核心环节,通过高能电子束在硅基上 " 手写 " 电路,精度达到 0.6nm,线宽 8nm,可灵活修改设计无须掩膜版,特别适合芯片研发初期的反复调试。

值得注意的是,此类设备长期受国际出口管制,导致中国科学技术大学、之江实验室等国内顶尖科研机构长期无法采购。而 " 羲之 " 的的落地将有望打破这一困局。更令人欣喜的是,该设备的定价低于国际市场均价,目前已与多家企业与科研机构展开接洽。

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