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36氪 10-26

「上扬软件」完成大基金二期领投数亿元 C 轮融资,致力于高端晶圆厂 MES/CIM 工业软件国产化

近日,36 氪获悉,上扬软件 ( 上海 ) 有限公司 (简称上扬软件)完成新一轮数亿元 C 轮融资,此次 C2 轮融资由国家集成电路产业投资基金二期(大基金二期)领投,中芯聚源、浦东科投、浦东科创跟投,老股东新微资本追投,深创投、石溪资本继续持股。上扬软件是大基金投资半导体 MES/CIM 工业软件的首家企业。

今年 5 月,上扬软件已完成了 C1 轮融资,获得哈勃资本、兴橙资本、红土善利的投资,其中哈勃为战略投资者。此前,上扬软件 2017 年获得了深创投的 A 轮融资,启动进入半导体高端市场;2019 年获得北京屹唐华创、上海物联网的 B 轮融资,进入 8/12 寸 MES 的产品研发。

上扬软件成立于 2001 年 3 月, 是国内首批专门为半导体、光伏、LED 等高科技制造业提供 MES ( Manufacturing Execution System, 制造执行系统 ) 、 CIM ( Computer Integrated Manufacturing ) 等软件产品和解决方案的供应商。目前已拥有 4、5、6、8、12 寸半导体 MES 整体解决方案。除了 myCIM(MES)以外,公司还提供包括 EAP、RMS、APC、FDC、RCM、MDM 在内的子系统。

上扬软件的产品广泛应用于半导体 4 到 12 寸的前道晶圆制造、封装以及材料厂中,客户数量已经超过 100 余家,其客户包括包括中芯国际、长电、华虹集团、联电、格科微电子、歌尔等行业头部企业。除半导体领域以外,上扬软件也服务了协鑫集成科技、通威太阳能、阿特斯阳光电力等数十家光伏行业客户。

上扬软件 2001 年在上海创立后,最开始从 5 寸半导体 MES 整体解决方案做起,如今大部分国内 4、5、6 寸晶圆厂都使用了上扬的 MES 系统。2009 年上扬软件进入光伏行业,现已成为光伏行业组件厂和电池厂 MES 供应商的龙头企业,市占率领先。

2015 年,上扬科技开始从 8 寸研发线向 8 寸量产线扩展。目前,公司已经支撑 8 寸线 8 万片 / 月的产能(可支持超过 10 万片 / 月),6 寸线最大可以做到 20 余万片 / 月的产能。

2017 年,上扬软件开始研发应用于 12 寸半导体产线的 MES 系统,并于 2019 年正式推出新产品 myCIM 4.0。目前,其 12 寸产品已完成某工厂的技术验证,正在进行量产验证。上扬软件董事长兼 CEO 吕凌志告诉 36 氪,公司的 12 寸 MES 产品填补了 12 寸半导体产线 MES 国产化的空白。

半导体制造端的软件主要是 CIM 软件。在整个 CIM 系统中,MES 是核心系统。MES 是半导体制造的 " 中枢神经 " 系统,控制和管理芯片制造的全过程。尤其在 12 寸晶圆制造过程中,每一片晶圆要在几百台设备间流转,经过近 1000 道工序,其复杂程度可想而知。

泛半导体智能制造软件 CIM/MES 的国际竞争赛道是大者或恒者通吃的行业,经过多年发展,Consilium、PROMIS、Fastech 等公司陆续被收购,多家韩国台湾公司也陆续重组并购,国内外仅有 AMAT、IBM、FA(上扬软件)这三家公司专注芯片厂 MES 超过 20 年。2019 年,地缘政治因素下,国内需发展自己在 MES/CIM 领域的企业,而最终国内也可能出现仅剩一两家的局面。

国内 4-6 寸晶圆制造厂 MES 已基本实现国产化,8 寸晶圆厂超过 90% 市场都是被外资占领,12 寸量产线的 MES 基本被外资垄断。形成这样差异的原因,是因为不同尺寸晶圆厂的生产方式是不一样的:4-6 寸主要是靠人力来实现设备之间操作的,8 寸是半人工、半自动化,12 寸是全自动化,尺寸越大,对软件的要求也越高,而 12 寸半导体量产线 MES 国产化是上扬软件的努力方向。

半导体智能制造软件是一个技术和经验结合的硬科技领域,不仅需要团队有扎实的长期技术积累和强大的研发能力,更需要具备丰富的行业知识和项目经验(know-how)。软件的成熟度和客户案例的数量和质量直接挂钩,即这款软件用于多少条产线,支撑多大量产能力的产线,使用年限有多久以及客户满意度等。

公司现有员工近 400 人,有来自美国、英国、新加坡、马来西亚、中国台湾等地的技术专家,研发占比半数以上。团队具有专家级的技术水平,资深合伙人及顾问团队拥有平均 20 余年的行业经验。

据悉,上扬软件此轮融资将用于研发 12 寸半导体量产线 CIM/MES 系统的升级研发和现场应用,实现半导体先进制程量产线 MES 国产化的 " 零突破 ";还将用于探索 AI 大数据在生产工艺优化、效率提升和良率提高方面的运用。

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