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驱动之家 2020-11-26

SK 海力士加速量产第四代内存:新旧工厂齐上 EUV 光刻机

目前,EUV 光刻机的部署安装主要在台积电、三星的晶圆代工厂。不过,内存厂商们也开始着手上马了。

此前,SK 海力士规划的是为年底建成的 M16 工厂配备,但来自德国 CB 的消息称,M14 老厂也会引进。

EUV 光刻机参与的将是 SK 海力士的第四代(1a nm)内存,在内存业内,目前的代际划分是 1x、1y、1z 和 1a。

EUV 光刻机的参与可以减少多重曝光工艺,提供工艺精度,从而可以减少生产时间、降低成本,并提高性能。

当然,EUV 光刻机实在是香饽饽。唯一的制造商 ASML(荷兰阿斯麦)产能极有限,尽管一台要 10 亿元左右,可仍旧供不应求。这一回新老工厂其上位,不知道 SK 海力士从 ASML 那里敲定了多少台。

另外,本次报道称,三星 2021 年将投产 EUV 工艺生产的内存,也就是早些时候发布的 16Gb 容量 LPDDR5。

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